リニアモーター駆動式疲労試験機
研磨装置
イオンミリング装置
半導体デバイスアナライザ
三源DC・RFスパッタ装置（デポダウン3インチカソード）
Al-NiやＴi-Si等の自己伝播発熱反応を有する金属薄膜を作製
三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチカソード）
Al-NiやＴi-Si等の自己伝播発熱反応を有する金属薄膜を作製
三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチカソード）
【自作装置】Al-Niの成膜に使用
小型真空蒸着装置
主にCr, Al, Niを成膜に使用し,低融点の原料をスパッタ装置に比べ数倍の速度で成膜可能
接合装置
【自作装置】ウェハ接合を行うため開発，加圧・加熱・真空をコントロール可能
赤外線導入加熱システム
（ラピッド・アニール）
赤外線ランプを集光させて高真空下で1500℃まで加熱すること可能
ナノ粒子製造装置
【自作装置】霧化加熱自己組織化法でシリカやアルミナ製の多孔質ナノ粒子を作製可能
ダイシングソー
Siウェハーを試験片や観察サンプルの形状に加工・切断する装置
セミオート卓上ワイヤボンダ
MEMSデバスなどに金属細線を配線をするための装置
曲げ試験装置
【自作装置】マイクロ～ミリスケールの直方体試験片に対し三点／四点曲げ試験が可能
曲げねじり引張試験装置
【自作装置】MEMSミラーデバイスなどに含まれる微小トーションビームに引張・曲げ・ねじりの変形を単独かつ複合的に付与可能
集束イオンビーム加工装置（FIB）
集束させたイオンビームで三次元形状にナノ・マイクロ加工できる実験システム，タングステンおよびカーボン膜の局所成膜機能も搭載
薄膜引張試験システム
薄膜材料を対象とした二軸引張試験装置で，薄膜に引張負荷を加えるためのアクチュエータ，荷重・変位計測のためのロードセルと変位計を4機ずつ搭載した試験装置
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
電子線を試料に当てて表面を観察する装置で，薄膜やナノ粒子などの表面観察を高分解能で観察可能
超微小押し込み硬さ試験装置（ナノインデンター）
薄膜などの微小サイズの表面近傍の硬さやヤング率を簡便に計測できる装置で，硬質薄膜の硬さ計測や，微粒子と変形実験などが可能
デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
微小サイズの寸法形状を計測するための装置で，肉眼では捉えられない速度の反応を撮影するときに使用する装置
エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
電子線照射により発生する特性X線を検出し，エネルギーで分校することにより元素分析や組成分析をする装置（FF-SEMに取り付けて使用する）
走査プローブ顕微鏡
先端を尖らせた短針を用いて，物質表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡
プローブシステム＆ナノマニピュレーションステージ
SEM（走査型電子顕微鏡）に取付け可能なプローブシステム，荷重計測やMEMSデバイスの校正に用いるForce sensorやＭicro gripperなどがある
高温示差走査熱量計（DSC）
容器に入ったサンプルを電気炉で加熱，空の容器との温度差を比較し発熱量や吸熱量を測定する装置
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- 三源DC・RFスパッタ装置
（デポダウン3インチカソード） - 三源DCスパッタ装置
（デポダウン） - 三源DCスパッタ装置
（デポアップ） - 小型真空蒸着装置
- 接合装置・自作
- 赤外線導入加熱システム
- ナノ粒子製造装置／自作
- ダイシングソー
- セミオート卓上ワイヤボンダ
- 曲げ試験装置・自作
- 曲げねじり引張試験装置・自作
- 集束イオンビーム加工装置
（FIB） - 薄膜引張試験システム
- 電界放出型走査電子顕微鏡
（FE-SEM） - 超微小押し込み硬さ試験装置
（ナノインデンター） - デジタルマイクロスコープ
＆ハイスピードカメラ - エネルギー分散型X線分析装置
（EDX） - 走査プローブ顕微鏡
- プローブシステム＆ナノ
マニュピュレーションステージ - 高温示差走査熱量計（DSC）
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