EQUIPMENT 

▣ 実験室1.（機械学科6号館5階505室）
　 Laboratory & Experimental Room 505
　 The Fifth Floor
　 Building No. 6
 
▣ 実験室2.（総合技術研究所3階307室）
 　Clean Room 307
 　The Third Floor
 　Research Institute for Industrial Technology

 

   

　実験室1.（機械学科6号館5階505室）
　マイクロ・ナノ材料の機械物性を調べたりナノ加工したりする自作装置がある実験室です

   
生津研究室実験室1レイアウト

室内レイアウト

 
 
実験室6号館5階実験室6号館5階

実験室6号館5階

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　　装置一覧  

　　1. リニアモーター駆動式疲労試験機
　　2. 研磨装置
　　3. イオンミリング装置
　　4. 三源DCスパッタ装置（デポダウン3インチカソード）
　　5. 三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチカソード）
　　6. 三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチカソード）
　　7. 小型真空蒸着装置
　　8. 接合装置
　　9. 赤外線導入加熱システム
　　10. ナノ粒子製造装置
　　11. ダイシングソー
　　12. セミオート卓上ワイヤボンダ
　　13. 曲げ試験装置
　　14. 曲げねじり引張試験装置
　　15. 集束イオンビーム加工装置（FIB）
　　16. 薄膜引張試験システム
　　17. 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
　　18. 超微小押し込み硬さ試験装置（ナノインデンター）
　　19. デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
　　20. エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
　　21. 走査プローブ顕微鏡
　　22. プローブシステム＆ナノマニュピュレーションステージ
　　23. 高温示差走査熱量計（DSC）  
 

 

 

　実験室2.（総合技術研究所 3階 307室クリーンルーム）
　薄膜材料試験片やMEMSデバイスを作製するためのクリーンルームです．

 
生津研究室実験室2レイアウト

室内レイアウト

 
 
 

　　　装置一覧  

　　　1. 両面マスク新井な露光装置
   　　2. RIE装置（ドライエッチング装置）
　　　3. 小型チューブ炉（4inch熱酸化炉）
　　　4. 小型チューブ炉（2inch熱酸化炉）
　　　5. ウェットベンチ
　　　6. 溶融塩実験装置
　　　7. クリーンベンチ 
 
実験室総合技術研究所307室実験室総合技術研究所307室

実験室総合技術研究所307室

 
 
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