佐藤　一雄

マイクロ・ナノ工学は，自動車・産業機器・モバイル機器の進歩を支えるマイクロセンサ，マイクロマシンを次々に生み出しています．当研究室では，これまでの機械工学で無視されてきた微小寸法領域の機械物理現象を研究します．さらに，マイクロセンサをつかったヒトの健康管理など，マイクロ応用システムを研究します．現在進行している具体的な研究課題は以下の三つです．
① シリコンの微細加工で実現するマイクロ３次元構造体製造プロセスの研究・開発
② マイクロマシンの信頼性にかかわる単結晶シリコン材料の機械特性の解明と評価技術
③ MEMSセンサを応用したヒトの健康管理システムの提案と評価
学生諸君には，機械の基礎知識をしっかり学んだうえで，新分野の課題に挑戦してほしいと期待します．