工学部／機械学科
マイクロ・ナノ構造体加工システム（集束イオンビーム装置他）
| 設備名 | マイクロ・ナノ構造体加工システム（集束イオンビーム装置他） |
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| メーカー名 | SΙΙナノテクノロジー社 |
| 型式 | SMI2050 |
| 仕様・性能 | 加速電圧30kV |
| 用途 | 材料（物質）の微細加工及び微小構造体の作製。 |
| 特徴 | ガリウムイオン照射によるエッチング加工やデポジション加工により、ナノスケールで材料（物質）の形状制御が可能。 |
| 利用上のメリット | マイクロ/ナノスケールの構造体の作製や、透過型電子顕微鏡観察用の試料作製に有効。 |
| 購入年度 | 平成18年3月 |
| 担当部署 | 工学部／機械学科 |
| 担当者 | 松室 昭仁、高木 誠 |
| 連絡先 電話 | 0565-48-8121（ex.2314,2311) |
| matsumuro[at]aitech.ac.jp、m-takagi[at]aitech.ac.jp ※メールアドレスはSPAM対策のため「@」を「[at]」に変えて表示しています。 メー ルを送信する場合は、お手数ですが「[at]」を「@」に変更してください。 |
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