工学部／電気学科
DLTS温度可変機能付真空プローバーヘッド
| 設備名 | DLTS温度可変機能付真空プローバーヘッド |
|---|---|
| メーカー名 | ＮＵエコエンジニアリング |
| 型式 | |
| 仕様・性能 | DLTS測定チャンバー 4軸真空マニュピュレータ 温度可変機能付きステージ（LN2～500℃） 真空排気系 広帯域波長透過ウインドウ付観測装置 |
| 用途 | 半導体欠陥検出 |
| 特徴 | 高温測定可能、真空中で測定試料交換可能、光学測定可能 |
| 利用上のメリット | ワイドギャップ半導体欠陥評価に適用できる。 |
| 購入年度 | 平成22年11月 |
| 担当部署 | 工学部／電気学科・総合技術研究所 |
| 担当者 | 徳田 豊 |
| 連絡先 電話 | 0565-48-8121(ext.2106) |
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