工学部／電気学科
薄膜試料作成装置
| 設備名 | 薄膜試料作成装置 |
|---|---|
| メーカー名 | JEOL |
| 型式 | EM-9100IS |
| 仕様・性能 | イオン加速電圧:1-8kV, 傾斜角：最大±6°(0.1°ステップ),ビーム径: 500µm(FWHM), エッチングレート：5µm/min、CCDカメラ、ターボ分子ポンプ,ペニング真空計を内蔵 |
| 用途 | 透過型電子顕微鏡用試料作製装置 |
| 特徴 | 短冊形状[2.8mm(長さ)×0.5 mm(幅)×0.1mm(厚さ)]の試料(主に半導体・セラミックス・金属）を高速で100nm程度の厚さまで薄片化可能 |
| 利用上のメリット | 従来の手法より早くかつダメージを少なく作製可能 |
| 購入年度 | 平成22年 |
| 担当部署 | 工学部／電気学科・総合技術研究所 |
| 担当者 | 岩田 博之 |
| 連絡先 電話 | 0565-48-8121(ext.1405) |
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