工学部／電気学科
クリーンルーム設備（実験・実習室）
| 設備名 | クリーンルーム設備（実験・実習室） |
|---|---|
| メーカー名 | 富士電機 株式会社 |
| 型式 | 愛知工業大学仕様 |
| 仕様・性能 | 清浄度クラス1000、温湿度制御、エアーシャワー前室 |
| 用途 | リソグラフィ工程のマスクとウエハの位置合わせ実験室に利用。 |
| 特徴 | 温湿度が制御された無塵室。 |
| 利用上のメリット | 塵埃を排除し、温度と湿度が制御できる実験室。 |
| 購入年度 | 昭和63年3月 |
| 担当部署 | 工学部／電気学科 |
| 担当者 | 古橋 秀夫 |
| 連絡先 電話 | 0565-48-8121（ex.2807） |
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