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工学部/電気学科

配向性有機膜極表面分析装置

配向性有機膜極表面分析装置

設備名 配向性有機膜極表面分析装置
メーカー名 アルバック・ファイ 株式会社
型式 VT-SPM25AI0
仕様・性能 走査方式:シングルチューブスキャナー
操作モード:STM, ビームヂィフレクションAFM
走査範囲 (X, Y, Z):10µmx10µmx1µm
z軸分解能:0.01 nm (STM)
除振機構:スプリングサスペンション及びエディーカレントダンピング
用途 薄膜表面の微細構造解析。
特徴 物質表面の構造を原子レベル解像度で測定。
利用上のメリット 超高真空下で、物質表面解析可能。
購入年度 平成15年2月
担当部署 工学部/電気学科
担当者 小嶋 憲三
連絡先  電話 0565-48-8121(ex.2008)
E-MAIL kojima[at]aitech.ac.jp
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