工学部/電気学科
配向性有機膜極表面分析装置

| 設備名 | 配向性有機膜極表面分析装置 |
|---|---|
| メーカー名 | アルバック・ファイ 株式会社 |
| 型式 | VT-SPM25AI0 |
| 仕様・性能 | 走査方式:シングルチューブスキャナー 操作モード:STM, ビームヂィフレクションAFM 走査範囲 (X, Y, Z):10µmx10µmx1µm z軸分解能:0.01 nm (STM) 除振機構:スプリングサスペンション及びエディーカレントダンピング |
| 用途 | 薄膜表面の微細構造解析。 |
| 特徴 | 物質表面の構造を原子レベル解像度で測定。 |
| 利用上のメリット | 超高真空下で、物質表面解析可能。 |
| 購入年度 | 平成15年2月 |
| 担当部署 | 工学部/電気学科 |
| 担当者 | 小嶋 憲三 |
| 連絡先 電話 | 0565-48-8121(ex.2008) |
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