工学部／電気学科
薄膜作成評価装置一式
| 設備名 | 薄膜作成評価装置一式 |
|---|---|
| メーカー名 | 株式会社 島津製作所 |
| 型式 | SLC-29 |
| 仕様・性能 | 分子線エピタキシ(MBE：molecu1ar beam epitaxy)装置、RFスパッタ装置、物理蒸着装置 |
| 用途 | 金属、無機、有機膜の成膜可能。 |
| 特徴 | 希望の多層膜が作製可能。 |
| 利用上のメリット | いずれの装置も操作が簡単。 |
| 購入年度 | 平成1年3月 |
| 担当部署 | 工学部／電気学科 |
| 担当者 | 落合 鎮康 |
| 連絡先 電話 | 0565-48-8121（ex.2001) |
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