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CLEAN ROOM
両面マスクアライナ露光装置
紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼き付けする装置です。
RIE装置
（ドライエッチング装置）
反応性ドライエッチング（Reactive Ion Etching)装置です。シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、有機物などをドライエッチングできます。
（ドライエッチング装置）
小型チューブ炉
（熱酸化炉、４インチ基盤用）
シリコンウェハの水蒸気酸化を行うためのチューブ炉です。
（熱酸化炉、４インチ基盤用）
小型チューブ炉
（熱酸化炉、２インチ基盤用）
（熱酸化炉、２インチ基盤用）
シリコンチップへのドープを行うためのチューブ炉です。歪みゲージを作るために用います。
溶融塩実験装置
高温で溶融した塩を多孔質粒子の表面全体に付着させ、多孔質発熱粒子を作製する装置。