研究グループ
◇ 電子ビーム応用
　飯吉　僚　教授
◇ ナノ構造評価
　岩田博之　講師
◇ デザインオートメーション
　江口一彦　教授
◇ プラズマ理工学
　高村秀一　教授
◇ 半導体デバイス
　徳田　豊　教授
◇ 電子顕微鏡テクノロジー
　日比野倫夫　教授
◇ LSI&IT
　堀田厚生　教授
◇ レーザ工学
　山田　諄　教授
　津田紀生　准教授
◇ ロボット工学
　矢野良和　講師